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離子濺射鍍膜與離子鍍過程原理是一樣的。
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離子的質(zhì)量遠大于電子,故離子束加工的生產(chǎn)率比電子束高,但表面粗糙度稍差。
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離子束加工和電子束加工類似,主要是利用高速運動的離子撞擊工件表面轉(zhuǎn)換成熱能來蝕除金屬。
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