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填空題

光化學(xué)加工透明膠片的制作可以有兩種方法來(lái)完成，即（）和（）。

答案：正轉(zhuǎn)片；反轉(zhuǎn)片

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化學(xué)加工采用（）制備掩膜，不僅將涂覆和刻劃兩道工序合二為一，而且可以做到更加細(xì)密。

答案：光化學(xué)方式

光化學(xué)腐蝕制備掩膜采用（）受到光照射而凝固，不受光的部分仍然為液態(tài)，這實(shí)質(zhì)上是將化學(xué)加工常規(guī)制備掩膜時(shí)的（）和（）兩道工序合二為一。

答案：光敏樹脂等感光材料；掩膜涂覆；刻劃