- 搜標(biāo)題
- 搜題干
- 搜選項(xiàng)
問答題
【簡答題】化學(xué)氣相沉積裝置的組成是怎樣的？
答案：
①反應(yīng)氣體和載氣的供給和計(jì)量裝置；
②必要的加熱和冷卻系統(tǒng)；
③反應(yīng)產(chǎn)物氣體的排出裝置。
你可能感興趣的試題
問答題
【簡答題】薄膜的化學(xué)制備方法有哪些？
答案：
主要分為化學(xué)氣相沉積CVD和溶液鍍膜法，化學(xué)氣相沉積包括熱CVD、等離子體CVD及光CVD等；溶液鍍膜法包括化學(xué)鍍膜法、...
