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【簡答題】簡述分子束外延裝置特點
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可精確控制膜厚,實現(xiàn)外延生長,獲得高潔凈度的膜層。
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名詞解釋
外延技術(shù)
答案:
外延是指在單晶襯底上生長出位向相同的同類單晶體(同質(zhì)外延),或者生長出具有共格或半共格聯(lián)系的異類單晶體(異質(zhì)外延)的技術(shù)...
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