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問答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述蒸鍍與濺射的區(qū)別

答案：

蒸鍍：讓材料加熱氣化（發(fā)射出粒子），再沉積到基片上成膜。
濺射：用離子轟擊，將靶材原子打出來，再沉積到基片上成膜。
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問答題

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答案：

（1）輝光放電直流濺射
（2）射頻濺射
（3）磁控濺射
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答案： （1）濺射出來的粒子角分布取決于入射粒子的方向.
（2）從單晶靶濺射出來的粒子顯示擇優(yōu)取向.
（3）...
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