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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述熱能傳遞的方式
答案：
主要有傳導(dǎo)、對(duì)流、輻射三種方式。熱傳導(dǎo)是固體中熱傳遞的主要方式，是將基片置于經(jīng)加熱的晶座上面，借著能量在熱導(dǎo)體間的傳導(dǎo)，...
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述化學(xué)氣相沉積法的五個(gè)基本步驟
答案：
A.反應(yīng)物已擴(kuò)散通過(guò)界面邊界層；
B.反應(yīng)物吸附在基片的表面；
C.化學(xué)沉積反應(yīng)發(fā)生；
D...
B.反應(yīng)物吸附在基片的表面；
C.化學(xué)沉積反應(yīng)發(fā)生；
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述CVD技術(shù)的熱動(dòng)力學(xué)原理——熱力學(xué)
答案：
化學(xué)氣相沉積是把含有構(gòu)成薄膜元素的氣態(tài)反應(yīng)劑的蒸汽及反應(yīng)所需其它氣體引入反應(yīng)室，在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并把固體產(chǎn)物沉積...
