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問答題

【簡答題】離子束加工應用有哪些方面？

答案：利用離子撞擊和濺射效應的離子束刻蝕、離子濺射鍍膜和離子鍍，利用離子注入效應的離子注入。

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【簡答題】離子束設備由什么組成？

答案：離子源（又稱離子槍，產生離子束流）、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、電源。

【簡答題】離子束加工的特點是什么？

答案： 1.是一種精密微細的加工方法。
2.非接觸式加工，不會產生應力和變形。
3.加工速度很快，能量使用率可高...