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填空題

熱氧化制備SiO₂的方法可分為四種，包括（）、（）、（）、（）。

答案：干氧氧化；水蒸汽氧化；濕氧氧化；氫氧合成氧化

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常規(guī)的硅材料拋光方式有：（）拋光，（）拋光，（）拋光等。

答案：機(jī)械；化學(xué)；機(jī)械化學(xué)

提拉出合格的單晶硅棒后，還要經(jīng)過(guò)（）、（）、（）等工序過(guò)程方可制備出符合集成電路制造要求的硅襯底片。

答案：切片；研磨；拋光

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