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填空題
制作電阻分壓器共需要三次光刻，分別是（）、（）和（）。
答案：
電阻薄膜層光刻；高層絕緣層光刻；互連金屬層光刻
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問答題
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答案：
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問答題
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答案：
離子注入會將原子撞擊出晶格結(jié)構(gòu)而損傷硅片晶格。如果注入的劑量很大，被注入層將變成非晶。另外，被注入離子基本不占據(jù)硅的晶格...
