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填空題

電子束加工是在（）條件下，利用（）對(duì)工件進(jìn)行加工的方法。

答案：真空；聚焦后的能量密度極高、速度極高的電子束

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電火花加工粗加工時(shí)工件常接（）極，精加工時(shí)工件常接（）極；線切割加工時(shí)工件接正極；電極加工時(shí)工件接（）極；電解磨削時(shí)工件接正極；電刻度時(shí)工件接（）極。

答案：負(fù)；正；正；負(fù)

超精密加工機(jī)床的關(guān)鍵部件有：（）、（）和（）等。

答案：精密主軸部件；導(dǎo)軌部件；進(jìn)給驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)