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單項(xiàng)選擇題

LIGA技術(shù)使用的X光波長在（）nm之間，可以得到大深寬比的精細(xì)結(jié)構(gòu)。

A.0.05～0.1
B.0.1～0.2
C.0.2～1
D.1～5

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單項(xiàng)選擇題

光刻電鑄的最大加工厚度為（）μm。

A.300
B.400
C.500
D.600

單項(xiàng)選擇題

超精密加工技術(shù)通常是指被加工零件的尺寸精度低于（）μm，表面粗糙度Ra小于0.025μm的加工技術(shù)。

A.0.01
B.0.1
C.1
D.10