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問答題

濺射工藝下面哪種方法可以改善其薄膜的臺階覆蓋性

答案：答案：使用中性粒子束輔助濺射。解析：在濺射工藝中，薄膜的臺階覆蓋性（step coverage）是指薄膜在臺階結(jié)構(gòu)上...

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